TEM-3785-8型英国porvair在线过滤器安装维护
GasPro™ TEM-3780 系列烧结镍介质过滤器设计用于过滤需要紧凑、全金属、耐腐蚀设计的 UHP 半导体气体。这种全焊接组件将在需要高流速和低压降且空间有限的情况下提供 3 nm 的颗粒截留能力。提供标准半导体工业配件以方便安装。
Nickel Media-316LSS 全焊接过滤器具有出色的烘烤特性,可实现快速干燥和在线鉴定。
TEM-3785-8型英国porvair在线过滤器安装维护如下:
为充分发挥产品的性能优势,在安装与日常运维过程中需要遵循标准化操作规范。安装时必须严格按照壳体上标识的气体流向接入管路,反向安装会直接冲刷滤膜结构,造成已截留的杂质释放,直接污染下游工艺设备。接入系统后,需用大流量洁净气体对管路进行充分吹扫,带走安装过程中引入的外来微粒后,再连通下游精密设备。
该型号过滤器为一次性消耗件,不可进行清洗再生,日常运维过程中建议定期监测过滤器进出口的压差变化。在常规50-69℃的清洁干燥气体工况下,推荐安装后1年更换过滤器;在70-80℃的高温工况下,建议安装后6个月进行更换,避免滤材纳污饱和后出现性能衰减。拆卸维护前必须释放管路内压力,使用惰性气体置换干净管路内残留的工艺气体,严格遵守特种气体作业的安全操作规范。
作为大流量高纯气体过滤领域的成熟产品,Porvair TEM-3785-8凭借稳定可靠的性能表现,解决了传统工业管路过滤的诸多共性痛点,为半导体、光伏等制造领域的气体洁净度保障提供了高性价比的可靠解决方案。
TEM-3785-8型英国porvair在线过滤器特征:
• 建造
烧结镍纤维介质封装在 316L 不锈钢外壳中。
• 电解抛光外壳
过滤器组件具有 15Ra 电抛光 316L 不锈钢外壳,可防止
腐蚀和颗粒在内表面积聚。
• 包装外的清洁度
我们的 GasPro™ TEM-3780 过滤器在洁净室中进行清洁
和包装,采用无有机物处理,实现包装外、无颗粒、无化
学物质的清洁度。最后的装配使用过滤后的氮气进行吹
扫,以达到初始清洁度。额外的预处理是可选的。
• 多种配件选项,易于安装
标准配件选项包括面/垫片密封、压缩、对焊和 NPT。特殊
配件,包括三夹式(三叶草)卫生型和法兰型,可根据
求提供。
• 100% 氦气泄漏测试
所有装置均经过 1x10-9 atm cc/秒测试。
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