英国porvair PFB-1911-6型在线过滤器四大优势
GasProTM PFB-1900 系列过滤器设计用于在流速为 100scfm 且温度为 121°C (250°F) 时,可保留 3 nm 颗粒。
英国porvair PFB-1911-6型在线过滤器四大优势如下:
1. 全氟接触流道,规避金属污染风险
PFB-1911-6最核心的突破,是实现了介质与壳体全部采用PTFE/PFA全氟材质,流体全程无任何金属部件接触。这一设计解决了传统TEM-17xx系列不锈钢过滤器的固有短板,可安全应用于卤素类、卤化物等强腐蚀工艺气体场景,从根源上避免了壳体腐蚀产生金属颗粒污染下游晶圆与工艺腔体的问题。
2. 纳米级ePTFE筛分过滤,颗粒拦截能力
产品采用热合工艺成型的ePTFE微孔膜作为核心过滤介质,依靠精准控制的微孔结构实现筛分式过滤,而非传统的深层吸附过滤。这种过滤方式可以精准稳定地拦截纳米级别气溶胶颗粒,不会出现传统深层过滤器常见的颗粒卸载、介质脱落问题,能够全程为MFC、精密阀门、反应腔等核心工艺设备提供可靠保护。
3. 胶囊一体化无密封圈设计,消除系统污染隐患
PFB-1911-6采用整体胶囊式一体化结构,过滤器内部不存在传统设计中的O型密封圈。这一设计从根本上规避了密封圈有机物析出、长期使用老化失效、旁路泄漏等行业共性痛点,大幅降低了特气系统的隐性污染风险,尤其适配需要长期稳定运行的半导体连续生产场景。
4. 极低可析出物,开箱即用大幅缩短调试周期
依托PFA壳体与无胶粘剂热合ePTFE膜的结构设计,加上洁净室环境下的出厂预处理,PFB-1911-6的总可析出物TOC与金属离子释放水平控制在行业极低标准,适配先进制程UHP供气系统。产品出厂前已经完成高纯氮气吹扫与真空封装,用户收到后无需进行长时间的现场烘烤、吹扫工序,可直接安装投入使用,大幅缩短项目现场的调试周期。

英国porvair PFB-1911-6型在线过滤器规格:
• 过滤等级
我们的多孔 PTFE 过滤器可有效截留 3 nm 颗粒。
• 最高工作温度
惰性气体中 121°C (250°F)
• 最大工作压力
20°C (68°F) 时为 207 巴 (3000 psig)
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