英国porvair TEM-1415-16型管道过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 75 scfm 和温度高达 150ºC (302ºF) 的条件。PTFE 膜和全氟聚合物支撑结构位于 316L 不锈钢电子抛光焊接壳体内。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清洁。

   英国porvair TEM-1415-16型管道过滤器应用优势如下：

3nm级超微颗粒截留能力行业，可阻挡引发晶圆纳米级缺陷的超细悬浮颗粒，在全厂主气路源头完成最后一道精密过滤，大幅降低先进制程半导体产线的晶圆报废率，提升整体生产良率

300 scfm超大流量性能表现突出，单台即可覆盖超大型12英寸晶圆厂整段大宗气体主输送总管的过滤需求，无需多台小流量过滤器并联，大幅简化主气路布局，降低整体管路成本

10Ra电解抛光壳体洁净度拉满，极低的内壁粗糙度避免颗粒附着沉积，长期运行无内壁腐蚀、金属离子析出风险，保障全厂高纯气体的传输纯净度，从根源上杜绝晶圆金属离子污染

氦检级零泄漏可靠性强，100%全检的超低泄漏指标，杜绝外界环境杂质渗入全厂主气路，从根源上避免主气路二次污染引发的全厂批量晶圆报废重大生产事故

全洁净室生产封装开箱即用，无需额外复杂的预清洗、长时间吹扫工序，安装后短时间内即可达到产线要求的超高纯洁净度，大幅缩短超大型半导体新产线的调试投产周期。

   英国porvair TEM-1415-16型管道过滤器特性和优势：

• 过滤等级

 我们的多孔 PTFE 过滤器可提供高效率的 3nm 颗粒截

留。

• 构造

带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (0.45 m2 / 4.8 ft2) 封装于

316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用

标准 Viton® O-型环（可根据需求提供其他 O 型环。

• 电子抛光壳体

过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防

止腐蚀以及内表面累积颗粒。

• 最大压差/温度 前向：

80 psid (5.5 bar) @ 75ºF (24ºC)

55 psid (3.8 bar) @ 167ºF (75ºC)

30 psid (2.0 bar) @ 257ºF (125ºC)

15 psid (1.0 bar) @ 300ºF (150ºC)

• 最大工作压力

17.2 bar (250 psig)

• 100% 通过氦气泄漏检测

所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。

• 包装外清洁

 我们的 GasPro™ TEM-1400 过滤器在洁净室清洁和包

装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的

洁净度。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清洁。

其他预处理可选。

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