TEM-1211-16型英国porvair管道过滤器可截留 3 nm 颗粒，适用流速高达 200 scfm 和温度高达 150ºC (302ºF) 的条件。PTFE 膜和全氟聚合物支撑结构位于 316L 不锈钢电子抛光焊接壳体内。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清洁。

   TEM-1211-16型英国porvair管道过滤器性能参数如下：

核心过滤精度：实现3nm级超微颗粒绝对截留，可阻挡半导体产线中最易引发晶圆纳米级缺陷的超细悬浮颗粒，适配7nm以下先进制程的高纯气体洁净度要求。

流量表现：适用流速高达200 scfm，在250 mbar常规压降下仍能保持稳定流速，单台过滤器即可覆盖12英寸晶圆厂整段大宗气体主管路的过滤需求。

工况耐受能力：额定工作压力可达250 psig（17.2 bar），最高耐受温度可达150℃（302℉），适配绝大多数工业大流量管路的安装空间与工况要求。

泄漏控制表现：每一台产品都100%经过氦气检漏测试，泄漏率低于1×10⁻⁹ cc/sec，达到氦检级零泄漏标准，杜绝微泄漏带来的气体污染风险。

密封兼容性：标准配置FEP封装Viton® O型密封圈，对空气、氨气、氩气、二氧化碳等绝大多数半导体级工艺气体都具备优异的化学兼容性，可根据特殊工况需求更换其他材质密封圈。

外形安装尺寸：总长度为635mm（25.0"），适配绝大多数工业大流量管路的标准安装空间，无需定制特殊转接支架。

使用寿命设计：在常规清洁干燥气体50-69℃工况下，推荐安装后1年更换过滤器；在131-150℃高温工况下，建议安装后最长6个月更换，保障长期运行的过滤性能。

   TEM-1211-16型英国porvair管道过滤器特性和优势：

• 过滤等级

 我们的多孔 PTFE 过滤器可提供高效率的 3nm 颗粒截留。

• 构造

 带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜 (1.3 m2 / 14 ft2) 封装于

 316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标

 准 Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环)。

• 电子抛光壳体

 过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防

止腐蚀以及内表面累积颗粒。

• 最大压差/温度

 前向:

80 psid (5.5 bar) @ 75ºF (24ºC)

55 psid (3.8 bar) @ 167ºF (75ºC)

30 psid (2.0 bar) @ 257ºF (125ºC)

15 psid (1.0 bar) @ 300ºF (150ºC)

• 最大工作压力

17.2 bar (250 psig)

• 100% 通过氦气泄漏检测

 所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。

• 包装外清洁

我们的 GasPro™ TEM-1200 过滤器在洁净室清洁和包

装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的

洁净度。最终组件采用过滤后氮气清洁，保证初始清洁。

其他预处理可选。

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