PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器应用场景
PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器设计用于在流速为 100scfm 且温度为 121°C (250°F) 时,可保留 3 nm 颗粒。
PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器应用场景介绍:
PFB-1911-6凭借精准的性能定位,在多个制造的核心流体场景中发挥不可替代的作用:
半导体晶圆清洗制程:适配RCA清洗、刻蚀等工艺的超纯水管路,有效阻挡流体中的亚微米颗粒,避免晶圆表面产生微划痕与颗粒残留,保障芯片良率。
光刻胶与特种化学品输送:用于光刻胶、显影液、剥离液的终端输送管路过滤,去除流体中的颗粒杂质,避免光刻胶涂布过程中出现颗粒缺陷,保障图案转移精度。
高世代面板线湿制程:适配TFT-LCD、OLED面板的彩胶涂布、显影刻蚀管路,在紧凑的设备内部空间中完成精密过滤,避免面板出现亮点、暗点等显示缺陷。
制药高纯流体场景:用于无菌制剂的注射用水、生物缓冲液管路过滤,在强腐蚀药剂输送场景下无杂质析出,满足GMP规范的洁净生产要求。
PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器规格:
• 过滤等级
我们的多孔 PTFE 过滤器可有效截留 3 nm 颗粒。
• 最高工作温度
惰性气体中 121°C (250°F)
• 最大工作压力
20°C (68°F) 时为 207 巴 (3000 psig)
PFB-1911-6型英国porvair在线过滤器特点和优点:
• 电解抛光外壳
过滤器组件具有 15Ra 电抛光 316L 不锈钢外壳,可防止
腐蚀和颗粒在内表面积聚。
• 包装外的清洁度
我们的 GasPro™ PFB-1900 过滤器在洁净室中进行清洁和
包装,采用无有机物处理,实现包装外、无颗粒、无化学物
质的清洁度。最后的装配使用过滤后的氮气进行吹扫,以
到初始清洁度。额外的预处理是可选的。
• 100% 氦气泄漏测试
所有装置均按 1x10-9 atm cc/秒进行测试。
• 采用 PFA 介质支撑结构设计
该过滤器专为需要高耐腐蚀性的超高纯度应用而设计。
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