TEM-828-8型英国porvair管道过滤器可 截留 3nm 颗粒，且适合流速高达 10 scfm 和 温度高达 80C (176ºF) 的条件。带聚丙烯支撑结构的 ePTFE 膜封装于 316L 不锈钢壳体内，具备的阻流和耐化学性。使用标准 Viton® O 型环（可根据需求提供其他 O 型环)。

应用

• 一般和工艺惰性设施气体。

• 关键计量、检验和平板印刷应用中的清洁干燥气体。

   TEM-828-8型英国porvair管道过滤器技术优势

TEM-828-8的性能围绕半导体行业的严苛工况进行针对性设计，每一处细节都经过长期工业场景验证：

‌纳米级绝对截留精度‌：采用多孔ePTFE过滤膜，专为3nm级颗粒过滤打造，过滤效率达到99.999999%，可截留高纯气体中所有亚微米级颗粒污染物，从根源上避免晶圆表面污染、光刻光学部件损伤等工艺风险。

‌优异的工况适配能力‌：额定最大处理流速可达10 scfm，最高工作温度可达80℃（176℉），在20℃环境下最大工作压力可达17.2 bar（250 psig），80℃高温工况下仍可承受4.0 bar（58 psi）的压差，覆盖绝大多数半导体高纯气体的常规工况要求。

‌高洁净外壳设计‌：过滤器组件采用15Ra电抛光316L不锈钢外壳，内壁光滑

  TEM-828-8型英国porvair管道过滤器规格：

• 过滤等级

 我们的多孔 ePTFE 过滤器可提供高效率的 3nm 颗粒截

 留。

• 最高工作温度*

80°C (176°F).

建议更换周期: 作温度高于 69ºC (156ºF) 时，6 个月。

• 最大工作压力

17.2 bar (250 psig) @ 20°C (68°F)

• 最大前向流动压差

20ºC (68ºF): 6.0 bar (87 psi)

80ºC (176ºF): 4.0 bar (58 psi)

   TEM-828-8型英国porvair管道过滤器特性和优势

• 电子抛光壳体

 过滤器组件采用 15Ra 电子抛光 316L 不锈钢壳体，可防

止腐蚀以及内表面累积颗粒。

• 包装外清洁

我们的 GasPro™ TEM-800 过滤器在洁净室清洁和包

装，不接触有机物，可达到包装外不含颗粒和化学物质的

洁净度。最终组件采用过滤后氮清洁，保证初始清洁。其

他预处理可选。

• 多种配件选择，易于安装

标准配件选择包括端面/垫圈密封、压缩、对焊和 NPT 螺

纹。可根据要求提供特殊配件，包括卡箍连接和法兰类

型。

• 100% 通过氦气泄漏检测

所有部件均符合 1x10-9 立方厘米/秒（大气压）标准。

，从根本上避免腐蚀与颗粒在内壁表面附着堆积，杜绝了普通过滤器常见的二次释放污染问题。

‌无尘室级出厂洁净管控‌：TEM-828-8全程在无尘室内完成清洁与密封包装，最终组装环节使用经过滤的高纯氮气进行吹扫净化，开箱即可实现无颗粒、无化学残留的超高洁净度，无需用户进行额外的长时间预吹扫处理，大幅缩短产线投产准备周期。

‌标准化适配接口‌：型号后缀“-8"对应行业通用的1/2"标准接口，可直接适配绝大多数半导体工艺管路的标准连接规格，无需对现有管路进行大规模改造即可快速完成安装替换。

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。