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MPT-750系列美国malema压力传感器应用场景介绍

点击次数:41 更新时间:2026-04-23

   MPT-750系列美国malema压力传感器在单个设备中引入了温度和压力监控功能,确保关键半导体应用中安全、可靠和高效的流量控制。

MPT 系列有两个版本:带电缆连接的 MPT-750 和带 Hirose 连接器的 MPT-751。两种传感器均采用单端口和流通式设计,提供标准压力输出和可选温度模拟输出。

MPT 系列为操作员提供了适应不同条件所需的多功能性,确保关键半导体应用中可靠的产品产量。

   MPT-750系列美国malema压力传感器应用场景介绍如下:

(一)湿法工艺核心环节

在湿蚀刻制程中,MPT-750实时监测蚀刻液喷射压力,确保晶圆表面刻蚀均匀性;湿法清洗环节通过同步监测清洗液温度与压力,精准控制清洗强度,避免晶圆表面损伤。

(二)特种流体输送系统

在化学机械抛光的浆料输送管路中,传感器实时监测浆料压力波动,保障研磨盘受力均匀;在电镀沉积(ECD)制程中,精准控制电镀液压力,确保金属镀层厚度一致性。

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   MPT-750系列美国malema压力传感器特征

双重功能:通过单个设备实现经济的流体压力和温度传感

高纯度材料:由 PFA 和 FFKM 制成的接液材料有助于确保与高纯度应用的兼容性

温度范围:适用于0°C至70°C的单相流体

设计灵活性:提供单端口和流通式设计

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