美国TESCOM 10-X系列免提升阀调压器产品特点介绍
美国TESCOM 10-X系列免提升阀调压器是一种微型超高纯度和精度的工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。10-X 系列采用 10 Ra 微英寸表面处理、免提升阀设计和 316 不锈钢 VAR 阀体材料。其进口压力为 150 psig/10.3 bar,出口压力为 3-30、60 psig / 0.21-2.1、4.1 bar,流速可达 100 SLPM。非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。
美国TESCOM 10-X系列免提升阀调压器产品特点介绍如下:
适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 (MFC) 性能
在广泛应用中提供性能
流量:2 SLPM 至 120 SLPM
在微型元件中提供出色的压降和重复性
膜片与阀体之间采用金属对金属设计,实现的密封性
内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
默认为哈氏合金膜片
内体积小
美国TESCOM 10-X系列免提升阀调压器规格
额定压力最大入口压力: 150 psig / 10.3 bar
最大出口压力: 3-30、3-60、0-100 psig / 0.21-2.1、0.21-4.1 bar
材料阀体: 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
膜片: HASTELLOY®
阀座: PCTFE 或 PTFE
阀杆: HASTELLOY®
弹簧: 316 不锈钢或 Inconel®
其他材料: 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
工作温度-40°C 至 60°C(-40°F 至 140°F)
连接件焊接接头:1/4 VCR® 或管接头
表面安装:1.125 或 1.50 占用空间
流通能力标准: Cv = 0.06
高流量: Cv = 0.1
重量VCR®,IGS:0.60 lb / 0.3 kg
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