瑞士VAT 64.8 UHV型控制闸阀专为在半导体生产中的溅射或 EUV 等应用的超高真空过程中进行可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足了耐用性、模块化、密封性和可维护性的标准要求，特别关注高正常运行时间和低拥有成本。

  瑞士VAT 64.8 UHV型控制闸阀技术参数如下：

尺码 DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10")

执行器 带闭环控制步进电机的集成压力控制器

机身材质 不锈钢

馈通 波纹管

标准法兰 ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS

泄漏率阀体< 5 × 10 - 1 0 毫巴 ls - 1

 阀座< 1 × 10 - 9 毫巴/秒- 1

压力范围DN 160– 200

DN 2501 × 10 -10  mbar 至 1.6 bar（绝压）

1 × 10 -10  mbar 至 1.2 bar（绝压）

浇口压差DN 160– 200

DN 250≤ 1.6 巴

≤ 1.2 巴

开启压差 ≤ 30 毫巴

循环直到第一次服务节流（打开 – 最大打开）

隔离（打开 – 关闭 – 打开）100 000

30 000

温度阀体≤ 80°C

 控制器最大限度。50°C（建议≤ 35°C）

材料阀体AISI 304 (1.4301)

 机制AISI 316L (1.4404) (DN 160– 200)

AISI 304 (1.4301) (DN 250)

 波纹管AISI 316L (1.4404, 1.4435)

海豹引擎盖金属

 门FKM（氟橡胶®）

安装位置 任何

阀位指示 视觉（机械和控制器）

瑞士VAT 64.8 UHV型控制闸阀配备了 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，而不会在板上产生任何摩擦。该板用作节流元件并改变阀门开口的传导性。机载压力控制器计算所需的板位置以达到设定点压力。步进电机执行驱动。编码器监控板的位置。这确保了快速准确的过程压力控制。关闭位置的特殊 VATLOCK 登录机制可确保防漏隔离与断电时的故障安全关闭相结合。

超高真空性能是通过金属阀盖密封和波纹管密封馈通以及硫化板密封（可选 O 形圈）实现的。

瑞士VAT 64.8 UHV型控制闸阀已经在各种工艺条件下安装在数以千计的苛刻应用中，证明了其出色的可靠性。凭借其坚固的免润滑设计，它满足了高循环真空控制闸阀的所有要求。

东莞市广联自动化科技有限公司专业供应进口电磁阀、气缸、泵、传感器、继电器、开关、离合器、过滤器、滤芯、流量计、液位计、编码器、伺服阀等产品。德国美国有公司，厂家一手货源，详请致电。

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